歐姆龍光電傳感器在晶圓測試系統中的成功應用

2021-06-10

由于目標檢測物晶圓的顏色和反光率存在差異，常規的漫反射型傳感器無法實現可靠檢測。而歐姆龍B5W-LB系列限定反射型傳感器具備背景抑制功能，檢測結果只與檢測距離有關，與晶圓表面的顏色和反光率無關，因此可有效、精準識別傳送帶上的晶圓通過情況。

應用場景如圖所示1：晶圓通過檢測

可了解歐姆龍B5W-LB系列限定反射型傳感器的特點，由此可知：

不易受顏色和材質影響的限定反射型鏡面、黑色、透明物體也都會檢測出來

< 顏色的穩定性 >

穩定檢測鏡面、黑色及透明物體等各種物體

不受背景影響，切實檢測希望檢測的物體

< 距離的穩定性 >

檢測范圍廣，因此耐物體位置偏移強

不易受外部干擾影響的設計

備有模擬電壓輸出和數字輸出

備有55mm和10mm的檢測距離

應用場景如圖所示2：晶圓在場檢查定位

歐姆龍EE-SX系列槽型對射光電傳感器，檢測距離1-15mm可選，響應速度小于1ms，具分辨率高，備NPN 、PNP常開常閉可選，且安裝形式豐富。